型式 | ・コントローラ ・ヘッド |
IM-6600 IM-6120 |
---|---|---|
撮像素子 | 1型 660万画素 CMOS | |
視野 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
φ100×200mm ▢25×125mm |
最小表示単位 | 0.1μm | |
くり返し制度 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
測定精度 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
Zステージ | 移動範囲 | 30mm |
Xステージ | 移動範囲 | 100mm |
設定は測定するポイントをマウスで選択するだけで、繰り返しの測定には置いて押すだけで寸法測定が完了します。
主要な統計値を自動で計算し、グループ摘出も簡単にできます。トレンドグラフとヒストグラムで傾向やばらつきをその場で把握できます。レポート作成や表計算ソフトでのデータ活用も可能です。
型式 | ・コントローラ ・ヘッド |
IM-6600 IM-6120 |
---|---|---|
撮像素子 | 1型 660万画素 CMOS | |
視野 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
φ100×200mm ▢25×125mm |
最小表示単位 | 0.1μm | |
くり返し制度 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
ステージ移動なし:±1μm ステージ移動あり:±2μm ステージ移動なし:±0.5μm ステージ移動あり:±1.5μm |
測定精度 | ・広視野測定モード ・高精度測定モード |
連結なし:±5μm 連結測定:±(7+0.02L)μm 連結なし:±2μm 連結測定:±(4+0.02L)μm |
Zステージ | 移動範囲 | 30mm |
Xステージ | 移動範囲 | 100mm |
・外観から測定箇所の詳細まで小型カメラで三次元測定
・測定箇所と測定結果をモニター上にリアルタイムに表示
・画像付きの報告書も作成可能
画面を見ながら測定箇所にプローブをあてることで測定します。
測定中の状況がモニターに表示され、測定箇所の詳細が表示されます。